痕量級(jí)多組分氣體分析儀概述

痕量級(jí)雜質(zhì)氣體比如烴類、H2O、CO、CO2、NOx、N2、H2S等會(huì)對(duì)高純氦、高純氫、高純氮、其他高純氣體的生產(chǎn)帶來(lái)危害，長(zhǎng)期存在會(huì)損壞生產(chǎn)設(shè)備和影響生產(chǎn)質(zhì)量，甚至對(duì)使用高純氣體的裝備帶來(lái)致命威脅。杜克泰克公司的DKF10型痕量級(jí)多組分氣體分析儀專門專業(yè)監(jiān)測(cè)并分析ppm微量級(jí)、ppb超微量級(jí)雜質(zhì)氣體。

痕量級(jí)多組分氣體分析儀原理

DKF10多氣體分析儀基于紅外光聲光譜技術(shù)，擁有脈沖紅外光源，通過(guò)窄帶光學(xué)濾波片，形成中紅外區(qū)10個(gè)光譜波段，用于氣體分析；超高靈敏度基于zhuan利的擁有增強(qiáng)懸臂梁光學(xué)麥克風(fēng)技術(shù)，可通過(guò)10種光學(xué)窄帶濾波片實(shí)現(xiàn)，極窄的光學(xué)濾波可去除背景氣體的干擾；多個(gè)光譜區(qū)域可有利于最小的交叉靈敏度。對(duì)采樣響應(yīng)結(jié)果按照改進(jìn)的經(jīng)典最小二乘法進(jìn)行數(shù)據(jù)校準(zhǔn)。

光聲光譜技術(shù)可實(shí)現(xiàn)短光路光程的高靈敏度測(cè)量，更進(jìn)一步提高了非線性補(bǔ)償技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)寬量程可達(dá)5級(jí)的線性動(dòng)態(tài)量程比。

痕量級(jí)多組分氣體分析儀氣體：

1. 烴類：CH4、C2H6、C2H2、C2H4等

2. 無(wú)機(jī)氣體：CO2、CO、N2O、SO2、NO、NO2,NH3、NF3、SF6、H2O等

3. 揮發(fā)性有機(jī)物VOCs：丙酮、乙醇、甲醇、苯、甲苯、二甲苯、甲醛等

4. 氟利昂（CFCs）及全氟化碳（PFCs）:CF4、C2F6、R-134a、R13等

5. 腐蝕性氣體：HF、HCL、HCN等

6. 麻醉劑：異fu烷、七fu烷、地fu烷、安氟醚等；

7. 其他氣體：N2、H2、O2、氯氣等（可選、擴(kuò)展探頭）；

8. 被測(cè)氣體可定制；

痕量級(jí)多組分氣體分析儀應(yīng)用

特性

優(yōu)點(diǎn)：

1. 帶有增強(qiáng)懸臂梁光學(xué)麥克風(fēng)的紅外光聲光譜技術(shù)

2. 電子脈沖紅外光源

3. 鍍金采樣氣室恒定溫度50℃

4. zhuan利超靈敏的基于MEMS懸臂梁傳感器光學(xué)麥克風(fēng)，耦合激光干涉測(cè)量懸臂梁微觀移動(dòng)

5. 19"3U工業(yè)機(jī)箱，適用于全部臺(tái)式或機(jī)架固定安裝

6. 內(nèi)置帶有5.7"前置顯示器的嵌入式計(jì)算機(jī)可設(shè)置氣體報(bào)警閾值

7. 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)約2GB，連續(xù)存儲(chǔ)9種氣體可達(dá)1年

8. 測(cè)量結(jié)果可以通過(guò)U盤，USB口，Ethernet網(wǎng)口，串口導(dǎo)出

9. 后面板有四路氣體連接口，兩路為采樣接口，配有粉塵顆粒物過(guò)濾器

10. 自動(dòng)補(bǔ)償溫度、壓力等變化工況的干擾

11. 自動(dòng)去除包括水汽、顆粒物等采樣氣體的干擾

技術(shù)參數(shù)：

12. 響應(yīng)時(shí)間：據(jù)通道積分時(shí)間(C.I.T.)和氣體置換周期，典型30s到幾分鐘；

13. 檢測(cè)限：根據(jù)氣體，典型sub-ppm，可定制；

14. 重復(fù)性：1%測(cè)量結(jié)果，在標(biāo)定條件下

15. 準(zhǔn)確度：典型2～5%

16. 動(dòng)態(tài)量程：典型5級(jí)，（100,000倍檢測(cè)限）

17. 零點(diǎn)漂移：±1檢測(cè)限/年

18. 量程漂移：3%測(cè)量值/年

19. 工作條件：

20. 溫度范圍：0℃～+45℃濕度范圍：低于90%RH,無(wú)凝露

21. 壓力范圍：大氣壓

22. 防護(hù)等級(jí)：IP20(IEC 529)

23. 振動(dòng)試驗(yàn)：33 Hz強(qiáng)振

24. 儲(chǔ)存條件：

25. 溫度范圍：-20℃～+60℃

26. 采樣條件：

27. 溫度范圍：0～+49℃無(wú)凝露

28. 壓力范圍：930 mbar～1100 mbar

29. 濕度范圍：露點(diǎn)+8℃或更高

30. 氣體流量：約1L/m

31. 顆粒物：<1μm

32. 總采氣量：<30mL，可配抽氣泵（負(fù)壓100hPa）最遠(yuǎn)距離100米；

33. 氣體接口：帶有快速插頭的6/4mm管，可定制；

34. 尺寸：48.4cm W x 13.9cm H x 44cm D

35. 重量：約13 kg

36. 電氣接口

37. 工作電源：100～240VAC,50～60 Hz

38. 輸入功率：100W

39. 通訊接口：Ethernet、USB、RS232、RS485

標(biāo)準(zhǔn)：

低壓測(cè)量指令2006/95/EC和電磁兼容EMC指令2004/108/EC EN 50270:2006,EN 61000-3-2:2006,EN 61000-3-3:1995+A1:2001+A2:2005,EN

61010-1:2001

安全標(biāo)準(zhǔn)：EN61010-1(2001),IEC 61010-1(2001),CAN/CSA-C22.2 No.61010-1(2004)和UL 61010-1(2004 incl.rev.2005)